نوع فایل: word
قابل ویرایش 108 صفحه
مقدمه:
در فصل اول قبل از هرچیز لازم است که ITO و ویژگی های آن معرفی شود. بنابراین در ابتدای این فصل ITO معرفی شده و خواص و ویژگی های آن مورد بررسی قرار گرفته است. در این بخش خواص فیزیکی، الکتریکی و اپتیکی لایه های نازک ITO بطور کامل آورده شده است.
در بخش دوم این فصل روشهای لایه نشانی متداول برای لایه نشانی ITO آورده شده است و سعی شده تا حد امکان توضیحاتی برای هر کدام از روشها داده شود.
روش لایه نشانی مورد استفاده در این پروژه یعنی کندوپاش بطور کامل در فصل چهارم توضیح داده شده است. در بررسی روشهای لایه نشانی سعی شده است که مزایا و محدودیتهای هر کدام توضیح داده شود.
در قسمت پایانی این فصل نیز به بررسی تماس نیمه هادی به ITO پرداخته شده و با استفاده از تحلیل دیاگرام باند انرژی تماس MS ویژگی های ماس ITO به نیمه هادی تحلیل شده است.
فهرست مطالب:
فصل اول
1-1- معرفی ITO و ویژگی های آن
1-1-1- خواص عمومی و ساختار فیزیکی
1-1-2- خواص الکتریکی
1-1-3- تحرک حامل های آزاد؛ مکانیزم پراکندگی
1-1-4- ویژگی های اپتیکی
1-1-5- ثابتهای اپتیکی
1-1-6- ساختار باند
1-2- روشهای لایه نشانی ITO
1-2-1- تبخیر حرارتی
1-2-2- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی
1-2-3- افشانه گرما کافت (Spry pyrolysis)فصل دو نداره
1-2-4- چاپ صفحه ای (screen printing)
1-2-5- لایه گذاری توسط باریکه الکترونی (e – beam)
1-2-6- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی
1-3- تماس نیمه هادی ITO
1-3-1- تحلیل دیاگرام باند انرژی تماس MS
فصل سوم
3-1 عملیات قبل از لایه نشانی
3-1-1- استفاده از محلول (RCA)
3-1-2- استفاده از حمام اولتراسونیک
3-1-3- گرما دهی به زیر لایه
3-2 عملیات لایه نشانی
3-2-1- کندوپاش
3-2-2- اساس مکانیزم کندوپاش
3-2-3- dc کندوپاش
3-2-4- rf کندوپاش
3-2-5- مگنترون کندوپاش
3-2-6- کندوپاش واکنشی
3-2-7- مزیت های فرایند کندوپاش
3-2-8- سیستم لایه نشانی مورد استفاده در این پروژه
3-2-9- تاثیر فاصله بین هدف و زیرلایه بر خواص فیلم ITO
3-2-10- تاثیر فشار جزئی اکسیژن روی ویژگی های فیلم ITO
- عملیات پس از لایه نشانی
- فرایند پس گرمایش
فصل چهارم
4-1- الگودهی به نمونه ها
4-1-1- طراحی و ساخت الگو
4-1-2- انواع فتورزیست
4-1-3- روش Lift-off
4-1-4- روش زدایش (etching)
4-1-4-1- زدایش خشک
4-1-4-2- زدایش تر
4-2- ضخامت سنجی
4-3- اندازه گیری مقاومت تماس
4-4- اندازه گیری مقاومت ورقه ای
4-4-1- پروب چهار نقطه ای
4-5- روش های کریستالوگرافی
4-5-1- بررسی با کمک میکروسکوپ نوری
4-5-2- بررسی با میکروسکوپ الکترونی
4-5-3- میکروسکوپ اسکن کننده الکترونی (SEM) و تحلیل تفکیک کننده اشعه ایکس (EDX)
4-5-4- میکروسکوپ انتقال دهنده الکترون (TEM)
4-5-6- شناسایی بر اساس تفرق اشعه ایکس (XRD)
4-5-7- RBS
4-5-8- بررسی با کمک میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM)
4-6- طیف سنجی فروسرخ
4-6-1- فرایند جذب فروسرخ
4-6-2- موارد کاربرد طیف فروسرخ
4-6-3- حرکات ارتعاشی
4-6-4- دستگاه طیف سنج فروسرخ
پروژه مهندسی شیمی با موضوع ITO . doc
